关于平台
关于平台

国家集成电路产教融合创新平台(电子科技大学)

业务范围:

前道工艺:覆盖扩散、薄膜、光刻、刻蚀、湿法、注入、平坦化、分析表征等全部IC前道核心工艺与设备

封装测试:具备减薄、切割、贴片、清洗、引线键合、激光植球、倒装焊、晶圆键合、检验分选、CP/FT测试、可靠性测试、失效分析等IC后道核心功能

教学培训:涵盖IC设计实训与IC工艺实训两大核心板块,特色课程包括:IC综合设计实验、FPGA系统设计实验、IC制造工艺、IC封装工艺、微纳加工技术等

使命愿景

提升区域集成电路人才培养水平和规模

支撑校内外科研团队前沿探索与技术攻关

助力行业中小企业技术开发与成果转化

平台概况

2021年,发改委、教育部批复建设,全国八所高校之一

打破壁垒,开放共享,辐射西南,服务全国

国家示范性微电子学院、国家集成电路人才培养基地、电子薄膜与集成器件全国重点实验室等多个国家级平台协同支撑

硬件设施

超净间面积2200 m2,其中百级250 m2,千级1500 m2,万级450 m2,各类晶圆微纳制造、封装和量测设备100多台/套,配备完善的半导体级厂务系统,设计平台占地1200 m2,下辖1个服务器站、1个EDA中心与4个设计实训教室,可同时容纳300人并发进行设计开发与实训。

6大核心工艺区: