离子注入机

关键参数：适用于6吋、8吋晶圆，兼容碎片；注入离子种类Ar⁺、N⁺、P⁺、H⁺、He^+、B⁺；注入能量范围30 keV~350 keV（一价离子）；注入角度0°~45°；装卸片手动,4靶位（包含1个加热靶位）；注入最高温度550℃；扫描方式：水平静电扫描+垂直机械扫描。

主要功能：用于掺杂工艺，可注入Ar⁺、N⁺、P⁺、B⁺、H⁺、He⁺离子。