RCA清洗机

关键参数：适用于6吋、4吋晶圆；手动机台；标准特氟龙花篮，25片/花篮，1花篮/槽次；SPM槽循环加热，温度：室温~120℃ ±3℃；SC1槽循环加热，温度：室温~65℃±1℃，带兆声；SC2槽循环加热，温度：室温~65℃±1℃；DHF槽常温循环槽。

主要功能：用于标准RCA清洗流程，4槽依次去除有机污染、颗粒污染、金属污染及表面自然氧化层。