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有机清洗机

发布日期：2025-07-03

关键参数：适用于6吋、4吋晶圆；手动机台；标准特氟龙花篮，25片/花篮，1花篮/槽次；不锈钢超声加热槽，温度：室温~65℃，精度：±2℃；超声组件：频率40 kHz，功率不低于300 W。

主要功能：用于半导体器件制造过程中的有机清洗工艺，清洗晶圆的有机污染。

  • 联系地址：电子科技大学清水河校区成电国际创新中心A栋1-2层

    官方网址：https://dy.uestc.edu.cn/icse

    联系电话：028-65490892

  • 预约网址：https://dy.uestc.edu.cn/icse/customer/index/index.html

    联系邮箱：icie@uestc.edu.cn

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