高低温探针台

关键参数：适用4~12吋晶圆；X-Y-Z-Theta四轴电动移动平台：X-Y方向行程:X: 260 mm；Y：430 mm；Z: 80 mm，移动解析度：最小为0.1μm；晶圆厚度：≥100 μm；整机绝对定位精度：±2 μm；卡盘温度范围：-50℃~200℃。

主要功能：具备探针和针卡测试功能，对晶圆、晶圆碎片及无源元件划片前的性能测试，工艺缺陷诊断。