功率半导体测试系统

关键参数：高压I-V测试模块: 最大电压:±3 kV，电压分辨率:200 μV;大电流I-V测试模块: 最大电流:DC20 A、Pulse≤±50 A，电流分辨率:5 pA；双通道中功率I-V测试模块:最大DC电流:±1.5 A、Pulse≤±10 A，电流分辨率:5 fA，最大电压:±200 V，电压分辨率:500 nV。

主要功能：用于SiC、GaN等功率器件（如MOSFET、IGBT、Diode）的高精密特性测试和可靠性分析。