半导体参数分析仪

关键参数：最大电压源≥210 V，最大电流源为≥1 A，最大功率≥20 W；输出功率：≥200 V@100 mA；电流测量最小分辨率≤0.1 fA；电压测量最小分辨率≤0.2 μV；采样率: 200 MSa/s；脉冲及直流电压输出：脉冲电压≥±40 V，脉冲电流输出≥±800 mA；脉冲周期最短时间：≤20 ns。

主要功能：用于半导体材料和微电子器件以及光电器件的I-V, C-V，脉冲I-V等电学特性的高精度测试分析。