半自动探针台

关键参数：最大支持晶圆尺寸：8吋；最大放大倍数；1000倍。漏电流指标≤5 fA ；X-Y移动范围：≥200 mm×200 mm；分辨率：≤1 μm；旋转范围：±5.5^°；Z移动范围：≥5 mm；Z移动分辨率：≤1μm；显微镜装置架X-Y移动范围：≥50 mm。显微镜装置架Z移动范围：≥100 mm。

主要功能：配套RF/电学仪表完成on-wafer测试，实现DC\RF\混合信号测试分析、满足半导体芯片、集成电路和其它微电子元件的电性能测试、功能验证和特性分析。