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关键参数：波长范围：370 nm~1100 nm；测量范围：15 nm~50 μm；准确度：优于0.5%；重复性：优于0.2 Å。光学系统：配10倍和50倍物镜；数字成像：1280´1024像素数码相机，可以测量线宽角度
主要功能：用于对8吋及以下薄膜样品进行无接触的无损厚度测量，可以实现mapping测量。
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