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关键参数：适用于2吋~8吋晶圆；薄膜应力测试范围：1 MPa~10 GPa；曲率半径测试范围：2 m~20000 m；曲率半径重复精度：1σ≤±1%（曲率半径≤20 m），1σ≤±2.5%（曲率半径≤200 m）。
主要功能：自动测量晶圆样品轮廓形貌、弓高、翘曲度、曲率半径和薄膜应力。
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