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自动台阶仪

发布日期：2025-07-03

关键参数：适用于8吋及以下晶圆，可360°自动旋转；测试高度方向的重复性＜0.4 nm（1微米的标准台阶）；测试垂直分辨率≤0.1 nm；XY移动载物台，X≥150 mm行程,Y≥150 mm行程。

主要功能：用于测试薄膜样品的台阶厚度。

  • 联系地址：电子科技大学清水河校区成电国际创新中心A栋1-2层

    官方网址：https://dy.uestc.edu.cn/icse

    联系电话：028-65490892

  • 预约网址：https://dy.uestc.edu.cn/icse/customer/index/index.html

    联系邮箱：icie@uestc.edu.cn

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