扫描电子显微镜

关键参数：放大倍率范围：30~1,000,000倍；最大样品尺寸6吋；二次电子分辨率（电子束减速模式下）：0.5 nm@15 kV；0.8 nm@1 kV；0.8 nm@500 V；1.2 nm@200 V；二次电子分辨率（非减速模式下）：0.9 nm@1 kV；大工作距离分辨率（电子束减速模式下）：工作距离为10 mm时，1 kV下分辨率1.0 nm；大束流下分辨率（非减速模式下）：6.4 nm。

主要功能：用于纳米材料的超高分辨微观形貌观察和微区分析。