超高分辨场发射扫描电子显微镜

关键参数：肖特基场发射电子枪；分辨率：≤0.6 nm @ 15 kV，SE；≤1.0 nm @ 1 kV，SE；加速电压范围：20 V～35 kV；放大倍数范围：1x~2,500,000x（1~16x为光学放大）；X射线能谱仪(EDS)；电子背散射衍射探测器（EBSD）。

主要功能：用于纳米材料的超高分辨微观形貌观察和微区成分、晶向分析。