聚焦离子束电子束双束显微镜

关键参数：分辨率：≤3 nm@30 kV；使用寿命：≥1000 h；液态镓离子源；放大倍数范围：1x~2,500,000x（1~16x为光学放大）；最大样品尺寸：直径≥300 mm，高≥70 mm；分辨率：0.9 nm@15 kV, 1.6 nm@1.0 kV; 电子束和离子束重合点工作距离≤4 mm；共焦点分辨率：1.1 nm@15 kV, 2.1 nm@1.0 kV。

主要功能：在纳米尺度上对材料进行加工，获得高分辨率的微观形貌图像，可对样品剖面的元素进行定性和定量分析。