i-line步进式光刻机

关键参数：适用于6吋晶圆；分辨率0.45 μm；对准精度LSA：120 nm，FIA：130 nm；套刻精度110 nm；曝光光源365 nm；NA：0.57；倍率5:1；最大曝光现场20 mm×20 mm；曝光光强600 mW/cm²；光强均匀性≤±1.5%；5吋掩膜版。

主要功能：适用于最小0.45 μm的各种光刻图形加工。